题名：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

丛书名：纳米科学与技术

出版社：科学出版社

本书分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；并按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

                                                                      图书馆索书号：TB383/7144